기본 정보
인라인으로 눈에 보이지 않는 정전기를 상시 체크
특징
키워드는 인라인 측정
고밀도・고정밀도의 전자 기기를 다루는 현장에서는 정전기 관리가 점점 어려워지고 있습니다.기존에는 핸디 타입 정전기 측정기로 관리하는 것이 일반적이었지만,
- 공정 내 불량이 발생해도 사후 검증밖에 할 수 없다
- 라인 이동 중 대전 상황은 볼 수 없다
- 측정이나 관리 공수가 든다
- 작업자나 측정 부위에 따른 측정 편차가 있다・・・
눈에 보이지 않는 정전기를 확실히 파악하고 항시 관리하기 위해 EF-S1 시리즈의 표면 전위 인라인 측정을 제안합니다.
라인 안의 정전기를 항상 체크!
인라인 대응 표면 전위 센서이므로 공정 내 여러 장소에서 발생하는 정전기를 라인 가동 중에도 항상 감시할 수 있어 이상 발생 시 바로 대응할 수 있습니다.
기존에는 알 수 없었던 정전기에 기인하는 파손 또는 불량을 명확하게 파악하여, 안정된 품질을 유지하고 관리할 수 있습니다.
이오나이저 점검 공수를 절약
이오나이저의 제전 효과를 실시간으로 파악할 수 있어, 이오나이저의 파손 또는 소모 부품의 교환 시기 등을 객관적으로 확인할 수 있습니다.
이오나이저의 효과 저하를 신속하게 파악하여 제전 가능 여부에 대한 불안을 해소하고, 점검・검증을 위한 공수를 절감합니다.
정전기 대책에 새로운 제안
핸디 타입 측정기를 이용하는 오프라인 측정과는 달리 광전 센서와 마찬가지로 라인 안에 설치할 수 있으므로 작업자 및 측정 부위, 거리의 차이로 인해 발생하는 측정값의 편차를 줄일 수 있어 신뢰성 향상에 공헌합니다.
또한 측정값이 설정 범위를 초과했을 때 신호를 출력하는 윈도우 콤퍼레이터 출력 및 데이터 수집, 해석에 필수인 아날로그 출력과 같은 다양한 기능을 통해 정전기 대책 시에도 광전 센서와 동일한 라인 제어가 가능합니다.
엄격한 측정에 대응
반복 정밀도는 ±0.3％ F.S.의 고정밀도 설계. 미세한 전위차도 놓치지 않습니다.
경량・소형으로 설치 장소를 가리지 않습니다.
센서 헤드의 질량은 불과 약 90g. 간단한 브래킷으로 설치할 수 있어 다양한 어플리케이션에 대응 가능합니다.
또한 소비 전력도 적어 러닝 코스트를 신경쓰지 않고 도입할 수 있습니다.
식별이 용이한 2색 듀얼 표시
컨트롤러에는 적색과 녹색의 디지털 표시 2화면을 탑재. 현재값과 동작 레벨을 한눈에 알 수 있습니다.
여러 가지 기능으로 다양한 어플리케이션에 대응
제로 조정, 히스테리시스 설정, 윈도우 콤퍼레이터 출력・+전위/-전위 피크 홀드(외부 타이밍 입력) 측정 등 여러 가지 기능으로 다양한 어플리케이션에 대응합니다.
아날로그 출력으로 데이터 관리도 간단
데이터 로거 등을 이용해 데이터를 수집・분석할 수 있어, 이오나이저의 설치 각도 및 대수 등을 검토할 때 도움이 됩니다.
용도
BG 시트 박리 시의 표면 전위 측정
칩 박리 대전 시의 표면 전위 측정
로더/언로더 시의 표면 전위 측정
리드 프레임의 제전 상황 측정
기판의 마찰 대전 측정
LCD 모듈 마찰 대전 측정
치수도
- 단위mm
EF-S1HS
센서 헤드
EF-S1C
컨트롤러
회로・연결
입・출력 회로도
(주1) : 이오나이저와 조합해서 사용하는 경우 본 제품의 0V와 이오나이저의 어스를 공통으로 하십시오. 또한 센서 헤드(EF-S1HS)의 금속부는 0V이므로, 설치 시에는 절연 등에 주의해 주십시오.
(주2) : 아날로그 전압 출력(회색)을 사용하는 경우 입력 임피던스 1MΩ 이상의 연결 기기를 사용해 주십시오. 또한 아날로그 전압 출력에 는 단락 보호 회로가 장착되어 있지 않습니다. 전원 또는 용량 부하를 직접 연결하지 마십시오.
※1
연결도
<아날로그 전압 출력 사용 시의 주의 사항>
판정 출력과 아날로그 전압 출력의 0V가 공통되므로, 부하 전류로 인해 아날로그 전압 출력이 변동되는 경우가 있습니다. 아날로그 전압 출력의 직선성 사양을 충족시키기 위해서는 판정 출력을 사용하지 마십시오.
※컨트롤러 연결용 커넥터(CN-EP1) 핀 배치도
| 단자 No. | 연결 케이블 |
|---|---|
| (1) | 갈색 |
| (2) | 청색 |
| (3) | 주황/보라색 |
| (4) | 실드선 |
검출 특성
EF-S1HS
측정 거리-측정 영역
설치 오차-표시값 오차 특성
(주1) : 설치 오차가 0.5mm보다 클 경우에는 컨트롤러로 측정 거리의 설정을 변경해 주십시오.
각도 특성(1)
각도 특성(2)
(주1) : 플러스쪽으로 기울면 케이스가 간섭하기 때문에 L=8mm인 경우, 5° 이상의 그래프 표시는 없습니다.
- 본 제품은 전위의 절대량을 측정하는 측정기가 아닙니다.
- 본 제품은 전계를 측정합니다.
따라서 측정 영역(위 그림 참조) 안 또는 센서 헤드 주변에 측정 대상물 이외의 전계를 어지럽히는 물체가 존재하면 측정 정밀도에 영향을 받습니다.
(측정 거리가 가까울수록 주위 물체의 영향을 쉽게 받지 않습니다)
높은 정밀도로 측정하기 위해서는 측정 거리, 측정 영역, 주위 환경을 고려한 뒤 센서 헤드를 설치해 주십시오.