웨이퍼 검출 빔 센서 DS(종료품)

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수주 종료

종료 시기

2006년09월30일

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수주 종료 정보

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사양

센서 헤드

종류		차동식 · 한정 반사형
종류		사이드 ON	헤드 ON
형식명		DS-L10	DS-L10H	DS-L24H
조함 앰프		DS-A1
검출 거리(주1)		2~8mm(주2)		5~24mm(주2)
최대 검출 거리		10.0±1.5mm(주2)		30±4mm(주2)
최소 검출 물체		ø0.05mm 동소선 (설정 거리 5mm, 배경 없을 것)		ø0.16mm 동소선 (설정 거리 14mm, 배경 없을 것)
응차 (히스테리시스)		100μm 이하		1.36mm 이하
반복 정밀도		검출축 방향 : 10μm 이하 검출 축에 직각 방향 : 50μm 이하 (설정 거리 5mm 일 때)		검출축 방향 : 10μm 이하 검출 축에 직각 방향 : 50μm 이하 (설정 거리 14mm 일 때)
내 환 경 성	사용 주위 온도	0~+50℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -20~+70℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관 시 : 35~85%RH
	사용 주위 조도	태양광 : 수광면 조도 11,000lx, 백열 램프 : 수광면 조도 3,500lx		백열 램프 : 수광면 조도 70,000lx
	내전압	AC 1,500V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 500V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10~55Hz 복진폭 1.5mm XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 500m/s²(약 50G) XYZ 각 방향 3회
투광 소자		적외 LED(변조식)
온도 특성		사용 주위 온도 0~+50℃ 중 20℃일 때 검출 거리의 ±1% 이하
재질		케이스 : ABS
케이블		0.08mm² 복합 3심 실드 케이블 3m 부속
케이블 연장		동등한 케이블로 전체 길이 5m까지 연장 가능
질량		약 80g
부속품		MS-DS-1(센서 헤드 설치 브래킷) : 1세트

(주1) : 검출 거리는 유무 검출을 실시할 경우의 최적 설정 거리입니다. 미세한 차의 검출을 실시할 경우는 최대 검출 거리로 사용해 주십시오.

(주2) : 검출 거리 및 최대 검출 거리는 백색 무광택지(DS-L10, DS-L10H : 20×20mm, DS-L24H : 50×50mm)에 대한 값입니다.

앰프

종류		전용 앰프
형식명		DS-A1
조합 센서 헤드		DS-L10, DS-L10H, DS-L24H
전원 전압		12~24V DC±10% 리플 P-P10% 이하
소비 전류		40mA 이하
출력		NPN 트랜지스터 · 유니버설 ・최대 유입 전류 : 100mA ・잔류 전압 : 1V 이하(유입 전류 100mA에서) 0.4V 이하(유입 전류 16mA에서)
	출력 동작	입광 시 ON/비입광 시 ON 변환 스위치로 선택
	단락 보호	장착
응답 시간		3ms 이하
동작 표시등		적색 LED(출력 ON 시 점등)
스팬 볼륨		연동 가변 볼륨 장착(최대 검출 거리의 미세 조정 가능)
내 환 경 성	사용 주위 온도	0~+50℃(단, 결로되지 않을 것), 보관 시 : -20~+70℃
	사용 주위 습도	35~85%RH, 보관 시 : 35~85%RH
	내노이즈	전원 라인 : 200Vp · 펄스 폭 1μs, 복사 : 1,300Vp · 펄스 폭 1μs(노이즈 시뮬레이서에서)
	내전압	AC 1,500V 1분간　충전부 전체 · 케이스 간
	절연 저항	DC 500V 절연 저항계에서 20MΩ 이상　충전부 전체 · 케이스 간
	내진동	내구 10~55Hz 복진폭 1.5mm XYZ 각 방향 2시간
	내충격	내구 100m/s²(약 10G) XYZ 각 방향 3회
재질		케이스 : 폴리카보네이트, 단자부 : PBT
질량		약 15g
부속품		조정 드라이버 : 1개